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六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發展微電子工業方面起著重要作用,是加工超大規模集成塊工藝中所必需的介質,又用做制冷和空調的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物,還可用做化學反應中的添氟劑,電氣設備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑,器件表面清洗和光纖生產。
注意事項:

| 化學式 | C2F6 | 危險貨物編號 | 22034 | |
| 理化性質 | 外觀與性狀 | 無色無臭氣體。 | 溶解性 | 微溶于水 |
| 熔點(℃) | -101℃ | 相對密度(水=1) | 4.7 | |
| 沸點(℃) | -78℃ | 臨界溫度(℃) | 19.7℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途徑 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 純品幾乎無毒,空氣中濃度較高時,應該佩戴防毒面具。緊急事態搶救或撤離時,建議佩戴自給式呼吸器。避免高濃度吸入 | |||
| 急救方法 | 吸入:脫離現場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。就醫。滅火方法:切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。 | |||
| 產品規格 | 99.995% | 99.999% | ||||
氧氣(O2) | <4ppm | <1ppm | ||||
氮氣(N2) | <9ppm | <4ppm | ||||
甲烷 (CH4) | <5ppm | <1ppm | ||||
一氧化碳(CO) | <1ppm | <1ppm | ||||
二氧化碳(CO2) | <2ppm | <1ppm | ||||
水(H2O) | <7ppm | <1ppm | ||||
酸度(氯化氫) | <0.1ppmw | <0.1ppm | ||||
時間:周一至周五(9:00-18:00)
電話:028-67870005
郵箱:scion.cd@scion-gas.com
網站:www.scion-gas.com
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